無油真空泵跟個(gè)別容積泵雷同，由定子、缸體、旋片、轉(zhuǎn)子、電機(jī)等重要整機(jī)組成。帶有旋片的轉(zhuǎn)子，偏心腸安裝在定缸內(nèi)，當(dāng)轉(zhuǎn)子高速旋轉(zhuǎn)時(shí)，轉(zhuǎn)子槽內(nèi)四個(gè)徑向滑動(dòng)旋片將泵腔分隔成四個(gè)工作室，因?yàn)殡x心力作用，旋片緊貼在缸壁，把定子進(jìn)排出口分別開來，周而復(fù)始運(yùn)行，進(jìn)行變?nèi)?，將吸入氣體，從排氣口排出，從而到達(dá)抽氣目標(biāo)，替換了旋片式真空泵需要耗真空油才干使用的短處。

　　它的特點(diǎn)是操作容易、抽氣量小、體積小、移動(dòng)便利、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)略、易于裝置、不會(huì)產(chǎn)生油煙、不會(huì)污染環(huán)境等，無油真空泵耐用性好，是壓縮，抽真空，兩用真空泵，是一種應(yīng)用規(guī)模非常廣泛取得真空的基本設(shè)備。

　　由無油真空泵的定義可知，其抽氣腔是無油的。但是機(jī)械傳動(dòng)部分還是需要油類光滑,例如多級(jí)無油真空泵、爪型泵和螺桿型干式泵等。其傳動(dòng)齒輪的軸承都需求光滑。利用迷宮式密封結(jié)構(gòu),去阻隔泵腔和齒輪箱等部位,比較簡(jiǎn)略的方法是在泵腔和需求光滑的部位之間充入枯燥的惰性氣體,或裝置密封圈。

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